Exemple d’étude sur le 5800LV – Matériaux
5800LV (MEB EDS) L’analyse chimique des couches minces pose un problème de résolution spatiale en EDS. Le faisceau d’électrons du MEB traverse les couches trop minces et va irradier les couches situées dessous ce qui fausse les résultats quantitatifs. Grâce à des mesures obtenues à différentes tensions d’accélération et un logiciel spécifique (Stratagem) implémenté sur […]